技術(shù)編號：11630724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在用于微米和納米壓印光刻技術(shù)的圖案轉(zhuǎn)移工藝中使用的裝置，其涉及將圖案從具有結(jié)構(gòu)化表面的模板轉(zhuǎn)移至基板的目標(biāo)表面。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于將基板安裝在模板處，并在壓印之后將模板從基板上脫模的裝置。背景技術(shù)納米壓印光刻技術(shù)(NIL)已存在了超過十年之久。已對將微米和納米級結(jié)構(gòu)從印?；蚰０遛D(zhuǎn)移至基板進行了許多改進。用于微米和納米級圖案轉(zhuǎn)移的大批量制造工具通過卷對卷工藝實現(xiàn)。已在許多工業(yè)應(yīng)用中部署了該項技術(shù)，包括醫(yī)學(xué)科學(xué)、微電子學(xué)、微觀力學(xué)等。ObducatAB是九十年代后期使納米壓印...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。