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打印頭芯片組件的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11630881

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打印頭芯片組件背景技術(shù)當(dāng)今被制造用于商用打印機(jī)中的壓電打印頭可利用雙側(cè)硅芯片,以便提供多墨滴重量和高噴嘴密度。通過使用光刻和刻蝕方法來制造雙側(cè)芯片,從而在硅片的兩側(cè)上構(gòu)建用于墨分配裝置的流體通道和壓電致動(dòng)器電路。該片隨后被分開為單獨(dú)的雙側(cè)芯片。在硅片的一側(cè)上制造的裝置必須當(dāng)在硅片的另一側(cè)上制造裝置時(shí)得到保護(hù),這導(dǎo)致制造方法的復(fù)雜性增加和來自每個(gè)硅片的產(chǎn)量降低。附圖說明圖1A是說明了示例性打印頭芯片組件的透視圖。圖1B是說明了圖1A的打印頭芯片組件的分解圖。圖1C是說明了圖1A的打印頭芯片組件的頂...
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