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反射器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11634851

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反射器相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求于2014年12月12日遞交的EP14197602.7的權(quán)益,并且其通過(guò)引用全文并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種可以形成光刻系統(tǒng)的一部分的反射器。本發(fā)明還涉及一種光刻系統(tǒng)。背景技術(shù)反射器被用在EUV光刻設(shè)備中,因?yàn)镋UV輻射在大多數(shù)材料中被強(qiáng)烈地吸收,并且因而透射透鏡對(duì)于EUV光刻設(shè)備并不實(shí)用。當(dāng)反射器被用于反射EUV輻射時(shí),一些EUV輻射被反射器吸收(EUV輻射的反射不是100%的效率)。EUV輻射被反射器的吸收導(dǎo)致反射器加熱,并且這將進(jìn)而導(dǎo)致反射器的扭曲。反...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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