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技術(shù)編號(hào)：11657109

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本發(fā)明涉及太赫茲技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于MEMS工藝的220GHz太赫茲發(fā)射機(jī)。背景技術(shù)太赫茲（THz）波從廣義上來(lái)講，是指頻率在0.1-10THz范圍內(nèi)的電磁波，其中1THz=1000GHz，也有人認(rèn)為太赫茲頻率是指0.3THz-3THz范圍內(nèi)的電磁波。THz波在電磁波頻譜中占有很特殊的位置，THz技術(shù)是國(guó)際科技界公認(rèn)的一個(gè)非常重要的交叉前沿領(lǐng)域。在太赫茲的低端頻率范圍內(nèi)，有幾個(gè)頻率范圍是處于大氣窗口頻段的，包括94GHz、140GHz、220GHz、340GHz，這幾個(gè)頻段由于在大氣傳輸中...
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