技術編號：11674200
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微流體機械領域，具體是其中的合成射流無閥壓電微泵。背景技術隨著微機電系統(tǒng)MEMS及其配套加工技術的發(fā)展，在其基礎上的微流體系統(tǒng)近年來已廣泛應用。微泵是微流體系統(tǒng)內的核心驅動部件，微泵按照有無閥部件可以分為有閥和無閥微泵，有閥微泵由于閥結構存在閥損壞的風險、通過性能不佳、結構較為復雜等缺點在微流體系統(tǒng)中的使用存在著諸多限制；而無閥微泵結構簡單加工方便，體積小易于集成，其中的以壓電振子作為驅動元件的無閥壓電泵在無閥微泵的優(yōu)點之上又具有抗電磁干擾、能耗低、效率高等優(yōu)點。無閥壓電泵通常利用特殊...
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