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抗蝕劑組合物、抗蝕劑圖案形成方法、產(chǎn)酸劑成分以及化合物與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11676652

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本發(fā)明涉及抗蝕劑組合物、抗蝕劑圖案形成方法、產(chǎn)酸劑成分以及化合物。本申請(qǐng)基于2015年12月22日在日本提出的、日本特愿2015-250578號(hào)要求優(yōu)先權(quán),將其中內(nèi)容在此引用。背景技術(shù)在平版印刷技術(shù)中,例如在基板上形成包含抗蝕劑材料的抗蝕劑膜,對(duì)于該抗蝕劑膜,隔著形成有規(guī)定圖案的掩膜,以光、電子射線等的放射線進(jìn)行選擇性曝光,實(shí)施顯影處理,由此進(jìn)行在上述抗蝕劑膜上形成規(guī)定形狀的抗蝕劑圖案的工序。將變化為經(jīng)曝光的部分溶解于顯影液的特性的抗蝕劑材料稱為正型抗蝕劑材料,將變化為經(jīng)曝光的部分在顯影液中不溶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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