技術(shù)編號：11685195
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于碳化硅陶瓷制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及晶硅片切割刃料尾料反應(yīng)燒結(jié)制備細粉碳化硅陶瓷機器及其制備方法。背景技術(shù)碳化硅的制備工藝主要有無壓燒結(jié)和反應(yīng)燒結(jié)。無壓燒結(jié)是在常壓下采用惰性氣氛保護，通過燒結(jié)助劑進行燒結(jié)的工藝。通常有B、Al、Fe、Cr、Ca、Y等元素或者其氧化物作為燒結(jié)助劑促進碳化硅燒結(jié)的致密化。根據(jù)燒結(jié)助劑在燒結(jié)過程的相態(tài)分為固相燒結(jié)和液相燒結(jié)兩種。1974年SProchazka以高純度β-SiC細粉為原料，采用B和C作為燒結(jié)助劑在2020℃無壓固相燒結(jié)制備碳化硅陶瓷，致密度達到了9...
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