技術(shù)編號：11688043
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。低蒸汽壓氣溶膠輔助的CVD相關(guān)申請的交叉引用本申請是2016年2月16日提交的申請?zhí)枮?5/045,081美國專利申請的部分繼續(xù)申請；所述美國專利申請要求享有2015年11月16日提交的申請?zhí)枮?2/255,644的美國臨時專利申請的權(quán)益。15/045,081和62/255,644的公開內(nèi)容全文出于所有目的以引用的方式并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本文所述的實施方式涉及使用低蒸汽壓前驅(qū)物來進行的化學氣相沉積。背景技術(shù)通過氣體的化學反應在基板上形成膜是現(xiàn)代半導體器件制造過程中的主要步驟之一。這些沉積工藝包括化...
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