技術(shù)編號：11692243
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及例如在有機EL元件的制造過程中能夠用來進行基板上的有機材料膜的干燥的干燥裝置和干燥處理方法。背景技術(shù)有機EL(ElectroLuminescence)元件是利用通過通入電流而產(chǎn)生的有機化合物的發(fā)光的發(fā)光元件，成為在一對電極之間夾有多個有機功能膜的層疊體(以下將該層疊體統(tǒng)稱作“EL層”)的構(gòu)造。在此，EL層例如具有從陽極側(cè)起按照[空穴輸送層/發(fā)光層/電子輸送層]、[空穴注入層/空穴輸送層/發(fā)光層/電子輸送層]、或者[空穴注入層/空穴輸送層/發(fā)光層/電子輸送層/電子注入層]等順序?qū)盈B而成的...
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