技術(shù)編號(hào):11739540
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種包裝瓶,更具體的說(shuō),是涉及一種光刻膠防止更換出錯(cuò)并安全運(yùn)輸保護(hù)瓶。背景技術(shù)在大規(guī)模集成電路晶圓制造工藝流程中,光刻工藝居于整個(gè)制造的中心地位。尤其目前進(jìn)入亞微米,納米工藝范疇內(nèi),光刻工藝更是推動(dòng)者整個(gè)行業(yè)沿著摩爾定律向前發(fā)展。在光刻工藝內(nèi),光刻膠的使用是非常重要的一環(huán)。在大型晶圓廠內(nèi),有幾十種不同應(yīng)用的光刻膠在生產(chǎn)線(xiàn)上同時(shí)使用,每瓶光刻膠的容量只有1加侖(3.75升),所以用完后需要經(jīng)常更換。而不同應(yīng)用的光刻膠嚴(yán)禁相互污染,混用,否則會(huì)造成重大質(zhì)量安全生產(chǎn)事故影響晶圓的良率。由...
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