技術(shù)編號(hào)：11743701
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散源涂布裝置，具體地說是一種利用霧化法對(duì)擴(kuò)散源進(jìn)行涂布的裝置。背景技術(shù)常見的晶體硅電池?cái)U(kuò)散形式為管式擴(kuò)散，少數(shù)設(shè)備采用先在硅片表面制備擴(kuò)散源再進(jìn)入擴(kuò)散爐中進(jìn)行擴(kuò)散。目前有采用噴涂工藝在硅片表面制備擴(kuò)散源，例如申請(qǐng)?zhí)枮?00810000056.1的專利提供了一種擴(kuò)散工藝中用于涂覆擴(kuò)散源的裝置，其包括一個(gè)噴槍結(jié)構(gòu)，利用高壓空氣將容器內(nèi)的液態(tài)擴(kuò)散源吸出并噴成霧狀涂覆于硅片表面，但是由于噴槍結(jié)構(gòu)過于簡(jiǎn)單，噴出的溶液多少差異較大，很容易造成涂覆溶液不均勻。申請(qǐng)?zhí)枮?01410809882....
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。