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具有硅電極的微型器件轉(zhuǎn)移頭部的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11765082

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具有硅電極的微型器件轉(zhuǎn)移頭部分案說(shuō)明本申請(qǐng)是于2014年11月24日進(jìn)入中國(guó)國(guó)家階段的、國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?01380027204.8、名稱(chēng)為“具有硅電極的微型器件轉(zhuǎn)移頭部”的PCT申請(qǐng)的分案申請(qǐng),其國(guó)際申請(qǐng)日為2013年5月16日。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及微型器件。更具體地,本發(fā)明的實(shí)施例涉及微型轉(zhuǎn)移頭部以及用于將一個(gè)或多個(gè)微型器件轉(zhuǎn)移到接收襯底的方法。背景技術(shù)集成和封裝問(wèn)題是對(duì)于諸如射頻(RF)微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)微開(kāi)關(guān)、發(fā)光二極管(LED)顯示系統(tǒng)、和MEMS振蕩器或基于石英的振蕩器的微型器件商業(yè)...
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