技術(shù)編號：11776668
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種晶圓洗刷裝置，特別是涉及一種化學(xué)清洗晶圓的滾刷單元同心卡接結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)晶圓化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）后的清洗，是通過設(shè)備中滾刷單元上PVA滾刷的滾動拖拽力以及化學(xué)溶液沖刷完成的。PVA滾刷外套在滾刷轉(zhuǎn)軸上并隨著滾刷轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動洗刷晶圓。傳統(tǒng)滾刷轉(zhuǎn)軸一端與驅(qū)動單元的驅(qū)動軸連接，另一端與惰性單元的惰軸連接，其連接方式均是以方形孔配合方形軸相互套插實現(xiàn)的。這種連接結(jié)構(gòu)，驅(qū)動軸和惰軸分別作為兩個獨立體存在，兩個軸的軸心線之間存在不平行度和不同心度偏差；在驅(qū)動軸和惰軸之間存在軸心線偏差狀態(tài)下，滾...
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