技術(shù)編號：11778841
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于工藝設(shè)備的監(jiān)測裝置及其方法，尤指一種可整合多設(shè)備數(shù)據(jù)的工藝設(shè)備監(jiān)測裝置及其方法。背景技術(shù)無論是電子、醫(yī)藥、食品、紡織、化學(xué)、材料等產(chǎn)品或領(lǐng)域的制造，皆會使用大量的工藝設(shè)備生產(chǎn)產(chǎn)品。各項設(shè)備的正常運作，是確保產(chǎn)品合格率和產(chǎn)能的重要因素之一，故一般會在工藝設(shè)備安裝多種檢測器來監(jiān)測工藝的各項參數(shù)。舉例來說，高溫爐是廣泛用于化學(xué)、材料以及半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)流程。以爐具的監(jiān)測來說，例如中國大陸實用新型專利CN203629703，提出一種爐臺溫度監(jiān)控裝置，包括一測溫元件，該測溫元件設(shè)置為能夠...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。