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一種多晶硅生產(chǎn)中的還原爐鐘罩去冷卻水方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11799388

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本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,涉及多晶硅生產(chǎn)中的還原爐鐘罩去冷卻水方法,可有效地節(jié)約電能和物料損失。背景技術(shù)現(xiàn)有的多晶硅生產(chǎn)方法通常是西門(mén)子或改良西門(mén)子多晶硅生產(chǎn)方法。在這種生產(chǎn)方法中,主要的生產(chǎn)裝置是還原爐。還原爐在生產(chǎn)中要消耗大量的冷卻水來(lái)帶走生產(chǎn)中爐筒和底盤(pán)產(chǎn)生的大量的熱量。還原爐內(nèi)的溫度高達(dá)1100℃,而要把還原爐內(nèi)傳給爐筒壁上的熱量帶走,就要有大量的用于冷卻的水來(lái)完成,消耗大量的水和帶走了許多的熱能,這也就增加了多晶硅生產(chǎn)中的成本和能耗?,F(xiàn)有技術(shù)就是耗用大量的冷卻水來(lái)帶走還原爐壁上的熱...
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