技術(shù)編號(hào)：11807764
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)發(fā)展不斷推動(dòng)半導(dǎo)體自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)的發(fā)展，硅片微電子技術(shù)被越來越廣泛地應(yīng)用于航空、航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防領(lǐng)域中，產(chǎn)生巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。在硅片生產(chǎn)加工過程中，硅塊需經(jīng)過拋光、倒角保護(hù)、切割成片、清洗檢驗(yàn)等步驟，其中切片過程是制約硅片質(zhì)量的重要一環(huán)，其核心是在切割砂漿的配合下，利用超細(xì)高強(qiáng)度切割線組成切割線網(wǎng)，以馬達(dá)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線輪控制切割線的速度和運(yùn)動(dòng)軌跡對(duì)硅錠進(jìn)行砂漿浸沒式切片加工。在硅片切片機(jī)工...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。