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技術(shù)編號：11821444

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本發(fā)明涉及石英玻璃制備領(lǐng)域，特別是涉及一種制備石英玻璃的燒結(jié)裝置及系統(tǒng)。背景技術(shù)石英玻璃是具有良好性能，如耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱震性、化學(xué)穩(wěn)定性高和電絕緣性能好等優(yōu)點，它是由二氧化硅作為主要組成的特種工業(yè)技術(shù)玻璃，按純度分為高純、普通和摻雜三類。目前，石英玻璃的制備工藝主要分為直接法制備工藝和間接法制備工藝，在直接法制備工藝中，石英玻璃用水晶、硅石、含硅化合物為原料，經(jīng)高溫熔化或化學(xué)氣相沉積而成，熔制方法有電熔法、氣煉法、化學(xué)氣相沉積CVD和等離子化學(xué)氣相沉積PCVD等。在間接法制備工藝中，用...
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