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技術(shù)編號：11822419

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本發(fā)明屬于減振技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于微慣性測量單元的減振結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)慣性傳感器是利用物體的慣性性質(zhì)來測量物體運動情況的一類傳感器，其包括加速度計和陀螺儀。傳統(tǒng)慣性傳感器由于體積大、質(zhì)量重、成本高等原因，限制了其應(yīng)用范圍。隨著微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了新一代的MEMS慣性傳感器。近年來，由MEMS慣性傳感器硅微陀螺儀及硅微加速度計組成的微慣性測量單元(MiniatureInertialMeasurementUnit...
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