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薄膜材料介電性能的測試方法及系統(tǒng)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11824897

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本發(fā)明涉及微波測量領(lǐng)域,具體來說,涉及一種薄膜材料介電性能的測試方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)薄膜材料廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,如信息存儲及復(fù)合材料粘結(jié)等。不同的應(yīng)用需求對薄膜材料的電磁特性要求也不盡相同。對薄膜材料而言,其復(fù)介電參數(shù)和磁導(dǎo)率是其重要參數(shù)。但是,由于薄膜材料厚度很薄,體積也很小,同時(shí)在制作薄膜時(shí)一般選擇涂覆在特定的基底上,其中在測量塊狀均勻介質(zhì)時(shí),測量其高頻復(fù)電磁特性比較加困難。目前薄膜材料復(fù)介電常用的測試方法主要有諧振腔法以及傳輸/反射法。其中,諧振腔法是將待測樣品放入諧振腔內(nèi),根據(jù)樣品放入前...
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