技術(shù)編號：11836220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路。更具體地說，本發(fā)明涉及貫孔漏電與擊穿測試。背景技術(shù)集成電路(IC)是一種含有許多小型、互連元件的半導體裝置。這些元件共同作用，使IC能夠進行諸如控制電子裝置的工作、或進行邏輯運算。IC在電腦、手機、及許多其它電子裝置都看得到。IC及其它半導體裝置一般包含多層。層與層之間的連接稱為貫孔。在集成電路設(shè)計中，貫孔是絕緣氧化物層中的小型開口，在IC不同層之間提供傳導性連接。多個貫孔耦接在一起以連接一IC中的一個傳導區(qū)域至同一或一相鄰IC中的另一傳導區(qū)域。貫孔在制造時會有錯誤。當貫孔中...
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