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技術(shù)編號：11841305

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鍍敷設(shè)備、鍍敷方法和轉(zhuǎn)換用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿勢的方法本申請為下述申請的分案申請：原申請的申請日：2012年03月15日原申請的申請?zhí)枺?01210069120.8原申請的發(fā)明名稱：鍍敷設(shè)備和鍍敷方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于諸如半導(dǎo)體晶片的工件(基板)的表面進行鍍敷的設(shè)備及鍍敷方法，特別涉及一種適于在基板的表面中限定的微細互通的溝槽、孔或阻抗開口中形成鍍敷薄膜，或者適于在基板的表面上形成與封裝體(package)等的電極電連接的凸塊(凸出電極)。對于用于半導(dǎo)體芯片等的三維外殼，需...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
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• 匙老師：多酸團簇、金屬有機框架材料的合成性能研究與計算模擬，主要包括： 1.多酸團簇-無機晶核共組裝進行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進能源材料設(shè)計、制備和器件應(yīng)用。
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• 蔣老師：以儲能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學電源
• 丁老師：1.材料物理與化學 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學 3. 仿生催化體系的設(shè)計及作用機理研究 4. 仿生材料的設(shè)計、合成及應(yīng)用研究