技術編號：11854809
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及基板檢測領域，特別是涉及一種基板檢測裝置。背景技術在平板顯示等行業(yè)中，化學氣相沉積(CVD)機臺為高溫真空設備，因此機臺內部環(huán)境要求嚴格，如若出現基板(例如玻璃基板)在腔室破片，會造成機臺宕機，且持續(xù)時間較長，例如達到3-4天，嚴重影響機臺的產能需求。為了實現對破片的監(jiān)控，防止已破損基板進入機臺中，目前使用中的一種基板檢測系統主要是通過光線掃描基板邊緣，利用光的反射原理，當光照射在基板表面時基板會改變光線的強度，監(jiān)控掃描時間內反射光強度變化，以此檢測基板是否存在破片。這種基板檢測系...
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