技術(shù)編號：11889511
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種熱式質(zhì)量流量計中的流量的測定方法、使用該方法的熱式質(zhì)量流量計以及使用該熱式質(zhì)量流量計的熱式質(zhì)量流量控制裝置。背景技術(shù)質(zhì)量流量計(MassFlowMeter)例如廣泛使用于以下目的：對在半導(dǎo)體的制造工藝中供給到腔室內(nèi)的工藝氣體(processgas)的質(zhì)量流量進行測定。除此以外，質(zhì)量流量計不僅如上述那樣被單獨地使用，還被用作與流量控制閥和控制電路等其它構(gòu)件一起構(gòu)成質(zhì)量流量控制裝置(MassFlowController)的部件。在該技術(shù)領(lǐng)域中有各種形式的質(zhì)量流量計，但是熱式質(zhì)量流量計由...
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