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技術(shù)編號(hào)：11900469

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本發(fā)明涉及表面裝飾涂層或工具涂層制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于MOCVD的金屬有機(jī)源摻雜裝置及方法。背景技術(shù)MOCVD（Metal-organicChemicalVaporDeposition-金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀)是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)，是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機(jī)化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長(zhǎng)各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。加熱分解的有機(jī)源包括Ⅲ族金...
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