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具有在粘結(jié)層中集成溫度感測(cè)的粘結(jié)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11935501

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具有在粘結(jié)層中集成溫度感測(cè)的粘結(jié)裝置相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)根據(jù)35U.S.C.§119(e)要求申請(qǐng)日為2014年7月8日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)?zhí)枮?2/021,937的美國(guó)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán),其的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本申請(qǐng)通常涉及加熱裝置,更具體地涉及用于這種裝置的溫度檢測(cè)和控制系統(tǒng),包括通過(guò)舉例的方式,在半導(dǎo)體加工設(shè)備中的靜電吸盤(pán)以及基底。背景技術(shù)本段中的聲明只提供與本發(fā)明披露有關(guān)的背景信息,不會(huì)構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。加熱裝置經(jīng)常用于具有有限的空間且需要精確控制的應(yīng)用中。在半導(dǎo)體加工的現(xiàn)有技術(shù)...
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