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技術(shù)編號：11953366

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本實用新型涉及一種薄膜太陽能電池PECVD基片裝載箱清潔裝置。背景技術(shù)在薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中，將清洗后的導(dǎo)電玻璃裝入立式基片裝載箱，加熱到一定溫度后使用PECVD法在導(dǎo)電玻璃基片上沉積薄膜完成不同光吸收層電池的制作，是整個電池生產(chǎn)技術(shù)的關(guān)鍵步驟。在沉積過程中不可避免的會有粉塵顆粒附著于裝載箱體內(nèi)。殘留的粉塵顆粒需要清潔干凈，防止在TCO玻璃上沉積吸收層時出現(xiàn)針孔、透空等鍍膜不良現(xiàn)象的發(fā)生。對基片裝載箱清潔是PECVD工藝不可忽略的難題。目前基片裝載箱的清潔一般采用人工清潔，對工件架清潔擦拭的...
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