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技術(shù)編號：11956153

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本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管及其制備方法、薄膜晶體管面板以及顯示裝置。背景技術(shù)隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，平板顯示技術(shù)正向著更高分辨率、更快響應(yīng)速度、更低能耗、全透明器件以及柔性顯示等目標(biāo)發(fā)展，這也對有源驅(qū)動顯示（如AMLCD，ActiveMatrixLiquidCrystalDisplay）中TFT（thinfilmtransistor）器件的性能提出更高要求。傳統(tǒng)的非晶硅TFT由于其遷移率較低（~0.5cm2V-1s-1）的特性不能滿足高分辨率、大尺寸LCD的顯示要求，更限制其在AMOLED（Act...
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