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技術(shù)編號：1198545

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本發(fā)明涉及例如適用于超聲波探頭(超聲波換能器)的制造方法以及超聲波探頭且有效的技術(shù)。背景技術(shù)超聲波換能器例如用于人體內(nèi)的腫瘤的診斷裝置等。迄今為止，主要使用了利用壓電體的振動的超聲波換能器。然而，伴隨著近年來的MEMS (Micro Electro Mechanical System)技術(shù)的進步，目前正在開發(fā)一種在硅基板上形成了振動部的電容檢測型超聲波換能器(CMUT =CapacitiveMicromachined Ultrasonic Transduc...
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