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超聲波強(qiáng)化螺旋形微槽道除垢換熱器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12003533

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本實(shí)用新型涉及一種超聲波強(qiáng)化螺旋微槽道除垢換熱器,具體涉及一種利用超聲波空化機(jī)理強(qiáng)化微槽道換熱及防垢、除垢的技術(shù)。背景技術(shù)微電子領(lǐng)域是最早提出微尺度流動(dòng)和傳熱問(wèn)題的工程領(lǐng)域,隨著電子計(jì)算機(jī)容量和速度的快速發(fā)展以及導(dǎo)彈、衛(wèi)星和軍用雷達(dá)對(duì)高性能模塊和大功率器件的要求,一方面器件的特征尺寸愈小愈好,已從微米量級(jí)向亞微米發(fā)展,另一方面器件的集成度自1959年以來(lái)每年以40%~50%高速度遞增。隨著集成度的提高,元件熱流密度的增加速度將更為驚人,由此帶來(lái)的過(guò)高溫度會(huì)降低芯片的工作穩(wěn)定性,增加出錯(cuò)率,同時(shí)模...
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