技術(shù)編號(hào)：12009051
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適于精加工用的研磨墊，用于在硅裸晶片(siliconbarewafer)、玻璃、化合物半導(dǎo)體基板及硬盤基板等中形成良好的鏡面。背景技術(shù)目前，研磨墊如下制造，即，將由合成纖維和合成橡膠等構(gòu)成的無紡布或編織布作為基材，在其上面涂布聚氨酯類溶液，通過濕式凝固法將聚氨酯類溶液凝固，形成具有連續(xù)氣孔的多孔層的表皮層，根據(jù)需要將該表皮層的表面磨削并除去，由此制備(參見專利文獻(xiàn)1)。在上述研磨墊中，磨削后的研磨墊表皮僅由聚氨酯的多孔層形成，構(gòu)成基材的纖維不在表面出現(xiàn)。上述研磨墊已經(jīng)被廣泛地用作液...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。