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夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池及制備方法與流程技術資料下載

技術編號:12009672

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本發(fā)明屬于微電子領域,涉及半導體器件結構及制備方法,具體地說是一種碳化硅基的夾心并聯(lián)式外延GaN的PIN型α輻照電池及制備方法,可用于微納機電系統(tǒng)等微小電路和航空航天、深海、極地等需長期供電且無人值守的場合。技術背景隨著人們對于低功耗、長壽命、高可靠性和小體積供電設備的需求,以及對核廢料處理的關注,微型核電池變得備受關注。微型核電池由于其突出的特點可用來解決微型管道機器人、植入式微系統(tǒng)、無線傳感器節(jié)點網絡、人工心臟起搏器和便攜式移動電子產品等的長期供電問題。并有望取代太陽能電池和熱電式放射性同位...
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