技術編號：12027742
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。用于精密生產的環(huán)境保持系統(tǒng)及方法【技術領域】本發(fā)明涉及一種半導體與平板顯示技術領域，特別是涉及一種在無塵室等級的精密生產環(huán)境下提升潔凈度的系統(tǒng)及方法【背景技術】近年來，人們對液晶顯示面板要求越來越高，超薄、重量輕、低耗電，可以提供更艷麗的色彩和更清晰的影像的低溫多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)等高階面板越來越受到青睞。但是，LTPS等高價面板生產遇到良率不高的技術瓶頸。其中很大一部分原因在于無塵室環(huán)境的潔凈度(空氣污染物如灰塵、酸堿氣體、有機物、硼元素等)...
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