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一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12033819

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本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法。背景技術(shù)在當(dāng)今信息化社會(huì),顯示器技術(shù)的快速發(fā)展,使其在人們的生活中扮演著越來(lái)越重要的角色。與此同時(shí),人們對(duì)顯示器的要求也越來(lái)越高。最新出現(xiàn)的OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有機(jī)發(fā)光顯示器)具有超薄、主動(dòng)發(fā)光、高亮度、高對(duì)比度、寬視角、寬工作溫度范圍、低功耗、低成本、全固態(tài)等優(yōu)點(diǎn),將為人們提供更加理想的顯示畫面,并對(duì)現(xiàn)有的顯示產(chǎn)業(yè)格局產(chǎn)生巨大的影響,也被認(rèn)為是LCD(LiquidCrystalD...
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