技術(shù)編號：12052974
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種基于硅基懸臂梁T型結(jié)直接加熱式毫米波信號檢測儀器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)長為1～10毫米的電磁波稱為毫米波，處于較高的微波頻段，在通信、雷達(dá)、制導(dǎo)、遙感技術(shù)、射電天文學(xué)、臨床醫(yī)學(xué)和波譜學(xué)方面都有著重要研究價(jià)值。功率、頻率和相位作為微波信號的三大參數(shù)，其檢測是電磁測量的重要組成部分，在微波技術(shù)的應(yīng)用中發(fā)揮著十分關(guān)鍵的作用?；诓粩喟l(fā)展和成熟的MEMS技術(shù)，很多電子元件和機(jī)械元件都成功實(shí)現(xiàn)了小型化，同時(shí)性能上也不亞于傳統(tǒng)元件，對于微波信號檢測器也不例外。然...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。