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一種蒸鍍方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12056966

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本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種蒸鍍方法。背景技術(shù)目前,比較成熟的工藝是利用蒸鍍工藝制作OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有機發(fā)光二極管)顯示產(chǎn)品。而在使用蒸鍍掩膜版進(jìn)行蒸鍍的過程中,蒸鍍掩膜版需要放置在待蒸鍍基板和蒸鍍源之間,且貼近待蒸鍍基板,因此蒸鍍之后,很容易有多余的材料殘留在蒸鍍掩膜版上,如果蒸鍍掩膜版清洗的不干凈,表面殘留的材料很容易將待蒸鍍基板劃傷。而通常蒸鍍源的材料在常溫下既不溶于水又不溶于酸,只能與熔融堿類及熱的濃磷酸反應(yīng)。如此苛刻的選擇條件給蒸...
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