技術(shù)編號：12060499
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光干涉計(jì)量測試領(lǐng)域，特別是一種基于寬帶光譜域顯微干涉術(shù)的近紅外位移傳感裝置及微位移量測量方法。背景技術(shù)隨著機(jī)械制造、光學(xué)元件加工、電子工業(yè)等領(lǐng)域的發(fā)展，對于微位移量測量工作的要求越來越高。接觸式位移傳感方法多由于測頭在測量過程中接觸表面，因此有劃傷被測件表面的危險(例如賈立德,鄭子文,戴一帆,李圣怡.擺臂式非球面輪廓儀的原理與試驗(yàn)[J].光學(xué)精密工程，2007,15(4)：499-504)。對于表面輪廓陡度太大或者存在溝槽的元件，測頭無法接觸指定點(diǎn)，造成測量誤差。非接觸式位移傳感技術(shù)多...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。