技術(shù)編號(hào)：12060501
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基于合成干涉信號(hào)偏振態(tài)檢測(cè)技術(shù)的納米測(cè)量系統(tǒng)。背景技術(shù)納米位移測(cè)量技術(shù)是高檔數(shù)控機(jī)床、極大規(guī)模集成電路、大面積掃描探針顯微鏡等超精密高端制造裝備的核心技術(shù)和關(guān)鍵功能部件，是實(shí)現(xiàn)高端制造、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域納米制造的保證。目前主要的納米測(cè)量方法有掃描隧道顯微鏡、光柵傳感器和激光干涉儀等，這幾種方法都能達(dá)到亞納米級(jí)分辨率。掃描隧道顯微鏡測(cè)量范圍僅為微米量程且存在米溯源問題，光柵傳感器光學(xué)元件安放困難。激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)大量程納米測(cè)量、抗干擾能力強(qiáng)，是目前廣...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。