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一種大口徑反射鏡面形輪廓在位檢測(cè)方法及裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12060522

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)加工檢測(cè)領(lǐng)域的測(cè)量方法和裝置,特別是涉及大口徑反射鏡在銑磨及研磨階段的面形輪廓檢測(cè)方法及裝置。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,大口徑非球面反射鏡在天文、空間光學(xué)和軍事領(lǐng)域得帶越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,對(duì)光學(xué)加工的效率和質(zhì)量要求越來(lái)越高,提出了新的挑戰(zhàn)。針對(duì)大口徑反射鏡銑磨及研磨階段的面形測(cè)量,國(guó)內(nèi)普遍采用刀口儀和三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行測(cè)量,其中,刀口儀測(cè)量非球面首先要將研磨階段的反射鏡進(jìn)行表面拋光,然后再利用相應(yīng)測(cè)試光路進(jìn)行測(cè)量,這種方式費(fèi)時(shí)費(fèi)力,且無(wú)法進(jìn)行量化,只能依靠工藝人員經(jīng)驗(yàn)判斷;采用三...
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