技術(shù)編號：12062121
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明橢球面反射鏡遠(yuǎn)焦點高精度定位裝置與方法屬于光學(xué)共焦顯微技術(shù)領(lǐng)域和光學(xué)精密測量領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著顯微技術(shù)的發(fā)展，反射式顯微成像系統(tǒng)越來越受到重視。能夠在大數(shù)值孔徑角下實現(xiàn)成像的結(jié)構(gòu)分別是：拋物反射鏡、雙曲線反射鏡和橢球面反射鏡。理想情況下，橢球面反射鏡具有數(shù)值孔徑大和對比度強(qiáng)的優(yōu)點，在光學(xué)共焦顯微技術(shù)領(lǐng)域和光學(xué)精密測量領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景和商業(yè)價值。然而，由于橢球面反射鏡的收集孔徑角非常大，因此對裝調(diào)精度要求極高，當(dāng)點源與橢球面反射鏡遠(yuǎn)焦點在徑向稍有偏離時，就會引起較大的慧差和像散，因此...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。