技術(shù)編號(hào)：12086472
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于納米制造，特別是規(guī)?；{米制造及柔性電子制造中大面積納米結(jié)構(gòu)薄膜的在線工藝監(jiān)測(cè)與優(yōu)化控制領(lǐng)域，具體涉及一種納米結(jié)構(gòu)薄膜大面積高分辨率(包括縱向分辨率和橫向分辨率)寬視場(chǎng)在線測(cè)量測(cè)量裝置及其測(cè)量方法。背景技術(shù)納米制造是指產(chǎn)品特征尺寸為納米量級(jí)的制造技術(shù)，即特征尺寸在100nm以內(nèi)的制造技術(shù)。為了降低納米制造成本，近年來在柔性電子、太陽(yáng)能光伏、平板顯示等新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，多采用卷對(duì)卷(roll-to-roll)或者片對(duì)片(sheet-to-sheet)等大規(guī)模納米制造工藝。為了實(shí)現(xiàn)有效的工藝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。