技術(shù)編號(hào)：12099279
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種OLED器件的有機(jī)薄膜蒸鍍裝置。背景技術(shù)真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時(shí)，蒸發(fā)出來的原子或分子就會(huì)吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法，一是蒸發(fā)鍍膜，一是濺射鍍膜。采用真空方式蒸鍍有機(jī)薄膜，需要將有機(jī)物儲(chǔ)存在坩堝內(nèi)，通過加熱使有機(jī)物蒸發(fā)，但常常出現(xiàn)有機(jī)物凝固的情況出現(xiàn)，影響蒸鍍效率和成膜質(zhì)量，發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是解決上述問題，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。