技術(shù)編號：12099282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置。背景技術(shù)真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時，蒸發(fā)出來的原子或分子就會吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法，一是蒸發(fā)鍍膜，一是濺射鍍膜。采用真空方式蒸鍍有機薄膜，需要將有機物儲存在坩堝內(nèi)，通過加熱使有機物蒸發(fā)，但常常出現(xiàn)有機物凝固的情況出現(xiàn)，影響蒸鍍效率和成膜質(zhì)量，發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是解決上述問題，提供一...
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