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技術(shù)編號(hào)：12103157

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本發(fā)明涉及化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域，主要涉及一種草酸生產(chǎn)系統(tǒng)。背景技術(shù)氧化銦錫（ITO）導(dǎo)電膜是指采用磁控濺射的方法，在透明有機(jī)薄膜材料上濺射透明ITO導(dǎo)電薄膜層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。ITO導(dǎo)電膜廣泛地用于液晶顯示器（LCD）、太陽(yáng)能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）、發(fā)光二極管（LCD）有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）等行業(yè)用面板過(guò)程中銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜（ITO）的蝕刻通常采用鹽酸/硝酸混合水溶液、鹽酸/三氯化鐵水溶液、草酸水溶...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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