技術(shù)編號(hào)：12110159
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于信息電子材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及高質(zhì)量a面氮化鋁薄膜及其制備方法與應(yīng)用。背景技術(shù)在過去幾十年中，聲表面波(SAW)器件由于具有體積小、質(zhì)量輕、信號(hào)處理能力優(yōu)異、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，被廣泛用于移動(dòng)通信、電視廣播以及各種軍用通訊中。隨著4G網(wǎng)絡(luò)以及頻率更高的通訊網(wǎng)絡(luò)的出現(xiàn)和發(fā)展，聲表面波器件的使用頻率不斷提高。氮化鋁由于其具有高熱導(dǎo)率、高硬度、高熔點(diǎn)、色散小、聲速高、高的化學(xué)穩(wěn)定性、大的擊穿場(chǎng)強(qiáng)和低的介電損耗，可廣泛用于聲表面波器件、各種傳感器、能量搜集器中。通過材料的壓電特性，進(jìn)行聲電、力電轉(zhuǎn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。