技術(shù)編號：12114381
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及壓力傳感器生產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種擴(kuò)散硅式壓力傳感器用微小應(yīng)力焊接結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)擴(kuò)散硅式壓力傳感器與傳感器安裝接頭的連接有膠圈密封連接和金屬焊接兩種方式，膠圈密封存在體積大，耐腐蝕性差，長期應(yīng)用膠圈密封性能降低，有介質(zhì)泄露風(fēng)險；相較于膠圈密封的連接方式。采用金屬焊接工藝將擴(kuò)散硅和傳感器安裝接頭焊接為一體則能有效防止介質(zhì)泄露，延長壓力傳感器的使用壽命，提升壓力傳感器的可靠性。但焊接時會產(chǎn)生較高的溫度，擴(kuò)散硅傳感器內(nèi)部的填充硅油會受熱膨脹，或者使傳感器前端的彈性膜片產(chǎn)生永久性損...
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