技術(shù)編號：12116363
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光直寫領(lǐng)域，具體涉及激光直寫領(lǐng)域的感興區(qū)域使用方法。背景技術(shù)現(xiàn)有的激光直寫設(shè)備中，經(jīng)常使用到數(shù)字微鏡器件(DigitalMicromirrorDevices，簡稱DMD)，DMD是用數(shù)字電壓信號控制微鏡片執(zhí)行機(jī)械運(yùn)動來實(shí)現(xiàn)光學(xué)功能的裝置.。目前的硅微加工技術(shù)已經(jīng)能夠加工出符合工藝要求的高質(zhì)量DMD芯片，在一個硅片上可一次制造成型幾十萬或上百萬個微反射鏡，這些微反射鏡一般呈矩形整列布置在DMD上?，F(xiàn)有技術(shù)中，DMD的使用方法是這樣的，DMD一般安裝在一個掃描軸上，DMD沿著掃描軸來回直...
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