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一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12129110

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本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體沉積設(shè)備的腔室蓋板防墜落裝置,特別涉及一種防止腔室蓋板墜落的支撐結(jié)構(gòu)。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備制成、維護(hù)過(guò)程中,操作者的人身安全是重中之重。對(duì)人身安全造成威脅的因素很多,除氣體、電磁輻射等化學(xué)與物理因素外,機(jī)械傷害不容忽視。在半導(dǎo)體設(shè)備加工、維護(hù)等過(guò)程中,有時(shí)需要操作者打開(kāi)腔室蓋板,來(lái)查看及維護(hù)腔體內(nèi)各個(gè)部件。而對(duì)于腔室蓋板自動(dòng)升降的半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)說(shuō),控制失誤、互鎖失效,導(dǎo)致蓋板重力下落的安全隱患尤為嚴(yán)重。機(jī)械互鎖作為最后的安全保障,其存在...
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