技術(shù)編號(hào)：12129427
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種聲波元件保護(hù)結(jié)構(gòu)及其制造方法，特別是一種應(yīng)用于通訊系統(tǒng)中的聲波元件保護(hù)結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)通訊系統(tǒng)中的帶通濾波器(bandpassfilter)由各種聲波元件組成，包括表面聲波濾波器(surfaceacousticwavefilter)以及體聲波濾波器(bulkacousticwavefilter)。聲波元件對于質(zhì)量負(fù)載的效應(yīng)非常敏感，微小的質(zhì)量負(fù)載即會(huì)造成頻率響應(yīng)的變化，已知8nm厚的鈦負(fù)載層就會(huì)讓薄膜體聲波共振器(filmbulkacousticwaveresonator...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。