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技術(shù)編號：12139548

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制備三氯硅烷的方法相關(guān)申請的交叉引用本專利申請要求享有2014年7月22日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請第10-2014-0092701號的優(yōu)先權(quán)，在文獻(xiàn)中公開的全部內(nèi)容并入作為本說明書的一部分。技術(shù)領(lǐng)域本公開涉及一種制備三氯硅烷的方法，并且更具體地，涉及一種可以使用負(fù)載有催化劑的硅以改善的產(chǎn)率獲得三氯硅烷的制備三氯硅烷的方法。背景技術(shù)三氯硅烷(TCS)是用于制備用于半導(dǎo)體或太陽能電池中的硅的主要材料之一。對于用于制備三氯硅烷的方法，工業(yè)上利用直接氯化和氫氯化反應(yīng)(HC)。氫氯化反應(yīng)是通過在...
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