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一種高純磷化鋅的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12157362

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本發(fā)明涉及高純磷化鋅的制備方法。背景技術(shù)高純磷化鋅是一種II—V族半導(dǎo)體材料,禁帶寬度1.5ev。近年來(lái)磷化鋅材料正受人們高度關(guān)注,同時(shí)砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體是現(xiàn)代無(wú)線通信、光通信領(lǐng)域中不可或缺的半導(dǎo)體材料。而磷化銦等器件工藝中,往往采用高純度的磷化鋅作為擴(kuò)散源。磷化鋅是當(dāng)前各國(guó)正積極投入應(yīng)用研究的半導(dǎo)體材料之一,包括在太陽(yáng)能電池、單維納米器件上的應(yīng)用研究,因此隨著其應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,對(duì)磷化鋅材料的需求也將會(huì)大量增加,發(fā)展前景樂(lè)觀?,F(xiàn)有技術(shù)有兩種技術(shù)方案:一種是燃燒法,另一種是ZnP2真...
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